
从350纳米到45纳米的制程工艺
——“上饶芯”的破局之路
本报记者 孙志红 钟芷涵 陈玉霞
显微镜下,每一微米的调整都关乎成败;控制台上,不断跳动的数据见证着技术的突破。
在日前落幕的第十四届中国创新创业大赛(江西赛区)的舞台上,一项打破国际垄断的光刻装备项目,让江西维易科半导体科技有限公司成为一匹备受瞩目的“黑马”——他们一举夺得第十四届中国创新创业大赛(江西赛区)成长组桂冠。
从依赖国外技术到实现自主可控,这家企业的成功突围,标志着在构建自主可控的半导体工艺链上,“上饶芯”嵌入了至关重要的一环。
一家企业的“单点突破”,如何激活区域产业的“集群效应”?维易科的成长路径,正成为上饶实现科技自主创新的生动范例。
从“翻新改造”到“自主研发”
在上饶高新区霞峰电子信息产业园,江西维易科半导体科技有限公司的8000平方米无尘车间内,工程师们身着洁净服,正对一台UTW-2000Z涂胶显影设备进行精密组装。
“2010年公司成立之初,我们主要从事设备翻新改造和技术服务。”江西维易科副总经理吴文学站在车间中,注视着正在调试的设备说道,“到2019年,我们下定决心转向自主研发,从最基础的350纳米技术起步。”
“不能永远停留在帮别人‘修设备’的阶段,必须打造属于自己的核心竞争力。”这一抉择,让维易科踏上了一条充满挑战的攀登之路。
从一粒“沙子”到一颗“芯片”,需经历上百道精密工序。面对国内半导体设备市场被国际巨头长期垄断的格局,该企业没有盲从主流,而是锁定光刻工艺链中“卡脖子”的关键环节——匀胶显影设备。在纳米级的微观世界里,团队沉心静气,一次次调试、一次次优化,逐步打通工艺闭环。
如今,在维易科的实验室里,自主研发的UTW-1500匀胶显影机已入选《江西省首台(套)重大技术装备推广应用指导目录》,而其迭代产品UTW-2000Z更是实现了硬件国产化率超90%,软件100%自主开发的壮举,并成功适配国产光刻机,填补了国产光刻工艺链核心装备的空白。
四年时间,从攻克350纳米制程工艺,到精进至45纳米乃至28纳米制程,每一次技术迭代背后,都是研发团队夜以继日攻坚的成果。
“我们选择了一条艰辛但却非常值得的道路。”回顾企业发展,吴文学感慨万千。这条道路,不仅是一家企业的转型之路,更是该企业在国产替代的浪潮中,为打通“中国芯”制造链路迈出了属于自己的坚实一步。
维易科,也由此实现了从“设备翻新”到“核心装备制造商”的破局重生。
从“技术攻坚”到“市场突破”
走进维易科的生产车间,一台台涂胶显影设备正在进行最后的出厂调试。不久后,这些“上饶智造”的核心装备将发往比亚迪等企业的智能生产线,嵌入国产芯片的制造脉搏。
“从签约到投产,只用了半年多。”指着窗外的标准化厂房,吴文学仍对当年的“上饶速度”记忆犹新。2022年3月,维易科落户上饶市广丰区霞峰电子信息产业园,当地政府提供的“拎包入住”服务,让企业迅速将蓝图转化为产能。
高效的落地为企业赢得了宝贵的研发窗口。维易科得以将全部精力聚焦于核心技术攻坚,短短两年间完成了从“技术突破”到“市场验证”的关键一跃。
爬坡过坎,企业的成长轨迹清晰可见:营收从2023年突破4000万元,再到2024年发货值跃升至6000万元……一串向上的箭头,勾勒出企业强劲的发展曲线。“我们每年将不低于10%的营收投入研发,把有限的资金用在创新的刀刃上。”吴文学介绍,目前,全国能自主研发此类设备的企业不超过10家,而维易科,是江西唯一一家。
亮眼成绩的背后,是企业对研发的持续投入与技术生态的长期布局。
据悉,这支由资深工程师与行业专家组成的团队,不仅依托自身20余年的技术积累,更通过与河海大学、北京工业大学等高校建立的产学研合作,持续夯实研发底座。在半导体国产化的漫长征程中,“专业深耕”与“生态协同”相辅相成,共同构成了维易科实现技术破局的核心支撑。
如今,维易科已申请专利100余项,授权80余项,产品成功打入国内主流芯片制造供应链。“过去这类设备九成以上依赖进口,现在我们从工艺源头实现了自主可控,产品可以应用于航天航空、汽车电子、计算机、5G通信等领域,能满足市场上80%-90%终端产品。”吴文学说。随着产品进入比亚迪等头部企业的5G通信和汽车电子生产线,“上饶制造”正深度融入国家半导体产业布局。
从“单点突破”到“集群共进”
维易科的崛起,远不止于一家企业的成功。其最核心的突破,在于为上游国产光刻机与下游芯片制造厂之间,搭建起一个完全自主的“工艺桥梁”,打通了光刻工艺链的关键堵点。
如今,这家掌握核心技术的企业,正展现出强大的产业带动能力。自落户上饶以来,维易科已成功吸引5家上下游配套企业集聚广丰。
在这片35亩的半导体产业园内,智慧工厂建设同步推进。通过引入移动操作机器人平台,配合智能物流管控与调度系统,实现物料在全流程中的自动转运与精准上下料,从根本上提升生产效率和产品良率。
“一个关键环节的突破,足以激活整条产业链。”该企业负责人指出。目前,维易科正从技术“突破点”成长为产业“连接器”,初步构建起覆盖设备研发、精密制造、关键耗材等环节的本地化协作网络。
随着上饶持续推进制造业重点产业链现代化建设,深化产业与资本融合,以维易科为代表的技术驱动型企业,正推动“上饶制造”向“上饶智造”稳步迈进。
单点突破,一链贯通,再到集群共进——一个以自主技术为根基、产业链协同发展的半导体装备产业集群,已在信江两岸蔚然成形。